Szerszámbevonatok készítése DC magnetronos porlasztással

A munkánkban a bevonatkészítés folyamatának numerikus szimulációjával teszünk kísérletet a vékonybevonatok kialakulásának előrejelzésére. A szimuláción alapuló modell eredményeit valós depozíciós mérésekkel és szerkezeti kialakulással támasztjuk álá. A szerkezet kialakulását TiC/a:C vékonyrétegeken vizsgáltuk transzmissziós elektronmikroszkópia segítségével.